產品詳細介紹(1)、X軸有效行程：750mm ，Y 軸有效行程：750mm ，Z軸有效行程：150mm
(2)、X軸重復定位精度：≤+/-2um；Y軸重復定位精度：≤+/-2um；Z軸定重復定位精度：≤+/-2um
(3)、X/Y/Z軸最大速度：1m/s，加速度：1G；
(4)、負載：10KG
(5)、使用環境：真空度 10-7Torr
(6)、平臺基座采用金屬合金，精度高，外形美觀。
(7)、X軸（底座）、Y軸（中軸）和Z軸均采用真空直線電機驅動，運動特性好，技術成熟，系統穩定。電機可以10 - 7托真空情況下正常使用。 |
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| 加入時間：2019-07-23
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