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Horiba SEC-Z512MGX質量流量控制器
產品編碼:1100
計量單位:只
最后更新:2011-08-11
關 注 度:5356
生產企業:上海進申工貿有限公司
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產品詳細介紹
  • 高精度:設定流量值±1.0%.
    MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的, 此技術保證在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發了標準的氣體測量系統, 并在大量實驗的基礎上,采集各種制程氣體的校準數據。
  • 高速響應
    SEC-Z500X 使用了最新開發的“可更改PID”系統,保證任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時,PID數據將進行自動的調整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數據也能夠自動優化,實現高速響應。
  • 復合氣體、復合流量方案
    HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數量,同時節省了時間和成本。
上海進申工貿有限公司
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加入時間:2010-06-10
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